真空管式爐充工作氣體方法

真空管式爐充工作氣體方法

● 使用氫氣作為工作氣體時 

1. 接通氫氣氣路，對各接頭處用肥皂水檢漏，確認不漏氣。 

2. 確認各閥門處于關閉狀態。 

3. 逆時針旋轉旋鈕開氫氣瓶主閥，順時針旋動旋鈕，緩慢打開出口減壓閥，使出口氣壓在-0.1MPa。 

4. 接通機械泵電源，打開管式爐出口閥和機械泵氣路上的兩個閥門，抽5分鐘。 5. 關閉機械泵氣路上的兩個閥門，關閉管式爐出口閥門，關機械泵。 6. 逆順時針打開上氣路控制閥，使箭頭指向“開"位置。 7. 逆順時針調節流量計旋鈕，使示數在20ml/min。 

8. 逆時針旋動旋鈕，打開管式爐進氣閥，直至氣壓表讀數為零。 9. 打開管式爐進氣閥，打開氫氣氣路上的紅色出口閥門。 

10. 在通氫氣滿十分鐘后，才能開始加熱管式爐。加熱前，逆時針調節流量計旋鈕，使錐形

瓶中氣泡出現的速度為2個/秒鐘。

●使用惰性氣體作為工作氣體時：

1. 接通工作氣體氣路，將管式爐氣體出口端連接機械泵。 2. 打開管式爐進氣閥，合上真空泵電源，打開出氣閥（注意把住法蘭，避免爐管受力過大），抽空剛玉管和氣體管路。 

3. 當管式爐真空表到-0.1（指針到盡頭時），關閉出氣閥，關閉進氣閥。 

4. 逆時針旋動旋鈕開氣瓶主閥，順時針旋動旋鈕，緩慢打開出口減壓閥，使出口氣壓在0.004MPa（2小格）。 5. 逆時針旋動旋鈕，緩慢打開管式爐進氣閥；密切注意管式爐氣壓表，確認氣壓在0.08MPa以下（如氣壓**0.08MPa，打開管式爐出氣閥放氣）。 

6. 管式爐氣壓表當氣壓穩定時，關閉管式爐進氣閥，打開出氣閥，抽真空到-0.1，關管式爐出氣閥。 

7. 重復4、5步兩次。 

8. 關機械泵，打開管式爐進氣閥。